1、提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法。
2、还详细讨论了卤素原子在金刚石薄膜淀积过程中的作用。
3、与行星径向平行的台阶边缘被对称淀积.
4、给出了不同衬底温度下淀积薄膜中硼深度分布的一些特征。
5、冻土的融化明显提高了土壤淀积层的贮水量。
6、这种淀积反应器很容易达到适应125或150mm的基片.
7、揭示了常规热丝法薄膜淀积工艺中热钨丝易断裂的原因。
8、一种化学汽相淀积过程,发生在适度的温度下.
9、衬底温度决定原子的表面迁移率,衬底温度是影响淀积的铝膜的均匀性和台阶覆盖能力的主要因素。
10、目标是通过研究反应流量、表面迁移率及反应能量等分子构成级的薄膜淀积工艺,克服对高热能输入的依赖。
