1、, 用一对引线就能够便利地实现精采的分辨力和正确度,而且操作简单便利。
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3、, 首先,本文对分辨力、电子散射、电子光学计算等的理论知识进行了总结与分析。
4、, 主要就曝光能量,分辨力改善情况,焦深变化等与传统情况作了比较。
5、, 详细地论述了相移掩模提高光刻分辨力和改善焦深的原理。
6、, 随着光刻特征尺寸的不断减小,尤其是随着分辨力增强技术的使用,像质参数的原位检测已成为先进的投影光刻机中不可或缺的功能。
7、, 理论和统计性能分析表明其对多目标分辨力优于muSIc方法,特别是在小快拍条件下表现了良好的性能。
8、, 结果表明,这种线性相位反演算法具有空间分辨力高、对小像差测量精度高的特点,但测量动态范围有限。
9、, 该文对我国晒图纸的前景和当前普遍采用电脑底图的特点,进行了分析,并对提高分辨力的实验作了详细叙述。
10、, 它既能有效地压制线性相干噪声,又能保证处理后资料的横向分辨力不受影响。
